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電漿清洗機 O2 Plasma Cleaner

Harrick Plasma 氧電漿機，可作為表面清潔，表面處理和表面改質的優良工具，可以應用於各種材料，包括金屬，陶瓷，複合材料，塑料，聚合物和生物材料等。

Harrick 三十多年前是首批開發Plasma的公司之一。儘管最初設計只用於一般光學元件的表面清潔，但已經在各種的應用和技術領域中得到肯定，至今已被引用超過3000篇評審論文和近150項專利。

Plasma 除了廣泛的應用於表面工程上，包括表面清潔，表面滅菌，表面活化，表面改質，以用於表面貼合處理，表面化學的改質，以及聚合物的表面處理外,生物材料可通過活化，接枝和表面塗層的處理，主要應用領域包括材料科學，微流體學 PDMS，聚合物科學，生物醫學材料，光學，牙科和醫療植入物等。

基本型電漿清洗機
​Basic Plasma Cleaner PDC-32G

具有Low (7W) , Medium (11W), High (18W) 三段功率可調整
​此已固定無法擴充至30W及45W

​一體成型 3" diameter x 6.5" length Pyrex chamber,可擴充為石英材質
​
1/4" swagelok metering valve to qualitatively control gas flow
​1/8" NPT 3-way valve to quickly switch from introducing gas, venting, and isolating the chamber
Weight: 13 lbs (6 Kg)
Size: 8.5" H x 10" W x 8" D

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擴充型電漿清洗機
​Expand Plasma Cleaner PDC-001

具有Low (7W), Medium (11W), High (30W)三段功率可調整
​此已固定無法擴充至45W

​一體成型 6" diameter x 6.5" length Pyrex chamber,可擴充為石英材質

1/4”swagelok metering valve to qualitatively control gas flow
1/8" NPT 3-way valve to quickly switch from introducing gas, venting and isolating the chamber
Weight: 37 lbs (17 Kg)
Size: 11" H x 18" W x 9" D

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高功率擴充型電漿清洗機
​Expand Plasma Cleaner PDC-001HP

具有Low (30W), Medium (38W), High (45W)三段功率可調整


​一體成型 6" diameter x 6.5" length Pyrex chamber,可擴充為石英材質

1/4” swagelok metering valve to qualitatively control gas flow
1/8" NPT 3-way valve to quickly switch from introducing gas, venting and isolating the chamber
Weight: 37 lbs (17 Kg)
Size: 11" H x 18" W x 9" D

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  HarrickPlasma 台灣獨家代理

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台灣沒有分北部,南部代理
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Physics of Plasma
電漿是如何產生的，以及它如何與物質表面相互作用的基礎知識。
Plasma Advantages
利用電漿做表面處理對表面本身的優點，一致性，低成本，易於使用，以及環境安全。
Plasma-Surface Interaction
根據所使用的氣體和材料類型，可能會發生不同的表面作用。
Plasma Process Gases
不同的氣體可用於化學和材料以去除污染，氧化，活化。
主要應用領域：
包括 材料科學，聚合物科學，生物醫學材料，牙科和醫療植入物的滅菌和其儀器，光學清潔和微流體表面的清潔，消毒表面，表面活化，表面的改質，以用於粘結和吸附，PDMS 表面處理，表面改質，以及PDMS鍵合​                                                             

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Application of Plasma 

​清 洗 生 物 晶 片

生物晶片實驗過後,必須以強酸清洗約30分鐘,才能完全清洗乾淨,改以PDC-32G 氧電漿機通入氧氣後清洗10分鐘後,以接觸角分析,可看到左邊清洗前為28度,清洗後接觸角為0度,證明已完全清洗乾淨                          

PDMS Bonding 應用及步驟

Plasma  各 項 擴 充 附 件 ：

            PlasmaFlo 含數位顯示真空計
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​具兩組流量計，可混合兩種不同氣體
49 mL/min maximum flowrate 
​common process gases (Air, Ar, N2, O2)

                 PDC-VCG Vacuum Gauge
​
數位顯示真空計 0.001 -760 Torr
​​Weight: 5 lbs
​Size: 5″ H x 10″ W x 8″ D

   Quartz Chamber for PDC-32G,001
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​Recommend for use with fluorinated gases (e.g. CF4),are very sensitive to chemical composition of Pyrex 

真 空 計 及 真 空 幫 浦

CVM-211 數位顯示真空計

Range :10-4 to 1,000 Torr 

PC 615 數位顯示真空計

Range :10-3 to 990 Torr

日本 ULVAC 系列真空幫浦

真空度:可至 10-3 Torr

    HarrickPlasma 資源 :

               A. 如何測試儀器是否正常

               B. 如何安裝儀器

              C.測試樣品經過Plasma清潔後的功效